Su rival, en el torneo reparte premios por valor de 3.356.715 dólares, será el ganador del partido de cuartos de final que esta tarde disputan los españoles David Ferrer, sexto cabeza de serie, y Tommy Robredo, decimosexto preclasificado.
Benneteau, de 32 años, que ganó por tercera vez a Wawrinka en los cuatro enfrentamientos que han tenido como profesionales, tuvo una vez más su mejor arma en el saque al conseguir nueve 'aces' y lograr el 68 por ciento de acierto con el primero.
El francés, que ocupa el puesto 41 en la clasificación mundial, consiguió 34 puntos de los 41 posibles con el primer saque, un 82 por ciento de eficacia, y de 19 con el segundo.
Benneteau, que ha tenido un cuadro fácil con triunfos ante el esloveno Blaz Rola, el británico James Ward, verdugo del español Guillermo García-López y el polaco Jerzy Janowiz, rompió cuatro veces de nueve oportunidades el saque a Wawrinka y lo cedió otras dos.
El tenista francés, que alcanza su primera semifinal de un Masters 1000, si se enfrenta a Ferrer tiene marca perdedora de 4-6, mientras que si lo hace ante Robredo todavía le ha ido peor con sólo dos triunfos en ocho duelos como profesionales.
El canadiense Milos Raonic, quinto preclasificado, sí cumplió con los pronósticos al imponerse con facilidad por 6-1 y 6-0 al italiano Fabio Fognini, decimoquinto cabeza de serie.
El dominio de Raonic fue completo ante Fognini que nunca tuvo respuesta con su resto al potente saque de Raonic que sólo le permitió hacer un juego en la primera manga y lo dejó en blanco en la segunda.
Raonic, séptimo en la clasificación mundial, aprovechó al máximo su altura y el poder del saque al meter cinco aces y lograron un 52 por ciento de acierto con el primero, que le permitió ganar 19 puntos de 23 posibles.
La victoria de Raonic fue la segunda que consigue en los enfrentamientos como profesional contra Fognini.
En la sesión de la noche está programado el partido de cuartos de final entre el suizo Roger Federer, segundo cabeza de serie, y el escocés Andy Murray, que entró en el cuadro principal como el octavo favorito, y el ganador será el rival de Raonic.
Dentro de la competición femenina, la estadounidense Serena Williams, cabeza de serie número uno, también cumplió con los pronósticos al vencer por 6-1 y 6-3 a la serbia Jelena Jankovic, octava preclasificada, y lograr el pase a las semifinales.
La rival de Williams será la ganadora del partido de cuartos que disputan esta tarde la polaca Agnieszka Radwanska, cuarta cabeza de serie, y la danesa Caroline Wozniacki, duodécima favorita.
El tenis español femenino se quedó sin otras dos representantes en dobles después de que la pareja formada por Garbine Muguruza y Carla Suárez-Navarro perdieron en cuartos de final por 7-5 y 6-3 ante la japonesa Kimiko Date-Krumm y la checa Andrea Hlavackova.